公司生产的铬靶材采用先进的热等静压(HIP)工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶、环形靶和大长径比整体成形管靶等类型,具有纯度和密度可控、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。
铬靶 | 性能 | ||
纯度/% | 99.5 | 99.95 | |
密度/g/cm3 | ≥7.12 | ≥7.12 | |
晶粒度/μm | ≤100 | ≤100 | |
金属杂质总和/ppm | ≤5000 | ≤500 | |
热导率/W/m.K | 60 | 100 | |
热膨胀系数/1/K | 8×10-6 | 8×10-6 | |
规格尺寸/mm | 平面靶 | ≤1500×500 | ≤1500×500 |
旋转靶 | 热等静压整体成形 长度≤2000 厚度≤15 | 热等静压整体成形 长度≤2000 厚度≤15 |
2N5微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
标准 | ≤1500 | ≤1200 | ≤1500 | ≤200 | ≤50 | ≤1400 | ≤300 |
测试值 | 980 | 300 | 600 | 62 | 50 | 1200 | 200 |
2N8微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
标准 | ≤800 | ≤300 | ≤400 | ≤200 | ≤50 | ≤1000 | ≤100 |
测试值 | 740 | 78 | 92 | 84 | 50 | 340 | 30 |
3N微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
标准 | ≤500 | ≤100 | ≤150 | ≤150 | ≤30 | ≤500 | ≤100 |
测试值 | 290 | 47 | 80 | 90 | 28 | 450 | 50 |
3N5微量元素PPM≥7.12g/cm3
成分 | 铁(Fe) | 铝(Al) | 硅(Si) | 铜(Cu) | 镍(Ni) | 碳(C) | 硫(S) | 氧(O) | 氮(N) |
标准 | ≤100 | ≤50 | ≤50 | ≤10 | ≤50 | ≤50 | ≤30 | ≤150 | ≤80 |
测试值 | 50 | 45 | 40 | 7 | 10 | 24 | 27 | 137 | 30 |