ITO靶材在液晶电视智能手机制造中的应用特点

近些年来，平面显示器走进千家万户的家庭之中，人们看电视时的液晶电视，智能手机的触摸屏等等，这些设备都运用到了ITO靶材。在没有这种材料之前，人们使用的是台式电脑，台式电视，使用的是滑盖手机，翻盖手机等。随着平板显示器尺寸大型化的发展，对ITO靶材尺寸及密度的要求也越来越高，热压设备与技术已远远不能满足其要求。因此，以烧结工艺生产大尺寸、高密度ITO靶材已成为国内各大靶材生产厂家研发的要点。

ITO靶主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作，后者是制造平面液晶显示的主要材料，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶材被广泛应用于各大行业之中，但主要应用于平板显示器中，它是溅射ITO导电薄膜的主要原料，没有它的存在，诸多的材料将无法实现正常加工以及设计。

ITO靶材的主要应用：

LCD经过长时间的发展后，产品质量不断提升，成本也不断下降，对ITO靶材的要求也随之提高，因此，配合LCD的发展，未来ITO靶材发展大致有以下的趋势：

1、降低电阻率

随着LCD愈来愈精细化发展的趋向，以及它的驱动程序不同，需要更小电阻率的透明导电膜。

2、高密度化

靶材密度的改善直接带来的益处主要表现在减少黑化和降低电阻率方面。靶材若为密度小时，有效溅射表面积会减少，溅射速度也会降低，靶材表面黑化趋势加剧。高密度靶的表面变化少，可以得到低电阻膜。靶材密度与寿命也有关，高密度的靶材寿命较长，意味着可降低靶材成本。

3、尺寸大型化

随着液晶模块产品轻薄化和低价化趋势的不断发展，相应的ITO玻璃基板也出现了明显的大型化的趋势，因此ITO靶材单片尺寸大型化不可避免。

4、靶材本体整体化

如前所述，靶材将朝大面积发展，以往技术能力不足时，必须使用多片靶材拼焊成大面积，但由于接合处会造成镀膜质量下降，因此目前大多以一体成形为主，以提升镀膜质量与使用率。未来新世代LCD玻璃基板尺寸的加大，对靶材生产厂家是一项严苛的挑战。

5、使用效率高率化

靶材使用率的提升，一直是设备商、使用者及靶材制造商共同努力的方向。目前靶材利用率可达40%，随着液晶显示器行业对材料成本要求的提高，提高ITO靶材的利用率也将是未来靶材研发的方向之一。

近年来，国内的靶材厂家发展速度，以尤特新材料为首的靶材生产商，加大了研发的投入，并引进国内外先进的生产和检验设备，其制造的靶材已达到国外先进进口靶材的品质，5N6N的高纯靶材生产技术也日趋成熟。相信，不久将来，国内的靶材企业能在全部市场上也占有一席之地。

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