一、产品名称:钛靶材、钛靶
牌号:TA0, TA1, TA2, TC4, TC6, TC11, GR5, TA7
厂家:巨伟钛业
主要形式:圆靶、板靶、管靶
钛含量≥:99.8(%)杂质含量:0.02(%)重量:不等(KG/块)
密度:4.51或4.50
圆靶:
60/65/70/80/85/90/95/100(D)×20/30/32/35/40/42/45/50(T)
板靶:60/80/120(W)x6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)x6-40(T)x600-2000(L)
管靶:0.1-30.0mm(W.T.)*3-350mm(O.D.)*50-15000mm
用途:钛靶材用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业等。
二、产品名称:702锆靶、705高纯锆靶、锆块、锆多弧靶
分类:
形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶
成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
锆靶主要应用于微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材。
三、产品名称:高纯铬靶、铬靶材 、铬靶块、 铬板靶
可定制靶材规格:
圆靶(直径φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)
板靶(长<500mm,宽<500mm,高<25mm)
管靶(外直径φ3.0mm-φ300mm,内直径φ2.0mm-280mm)
材料纯度:>99.995%
金属杂质含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翘曲度(Warp):<50μm
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